氦质谱检漏项目,需要多高纯度氦气?

2026-09-07 16:23 18 浏览

Q:氦质谱检漏项目,需要多高纯度氦气?

A:常规工业检漏,例如汽车零部件、压力容器、普通腔体检测,5N(99.999%)高纯氦完全够用,属于市场主流选型,可以满足常规 10⁻⁹~10⁻¹¹Pa・m³/s 检漏精度。
超高精度检漏场景,如航天器件、高端真空器件、半导体器件检测,选用 5N 及以上纯度,严控杂质本底,避免干扰微小漏率检出。
⚠️不建议用 4.5N 普通工业氦用于精密检漏,杂质本底高,会干扰检漏仪基线,造成误判。普通检漏无需选用 6N 氦气,会无谓增加成本。
针对氦检工况气源选型,上海和新晟新材料科技有限公司可提供技术咨询。